1630년대에 담배를 vapor + -ize의 조합으로 '피우다'라는 의미로 사용되기 시작했어요. 이후 1803년에는 '열 등을 통해 증기로 변환하다, 증기가 되게 하다'라는 의미로, 1900년에는 '미세한 안개로 분사하다'라는 뜻으로 발전했죠. 1828년에는 '증기화되다'라는 자동사적 의미도 증명되었어요. 관련된 단어로는 Vaporized, vaporizing, vaporization이 있어요. 이 단어의 초기 형태는 단순히 vapor였으며, 1400년경에 사용되었고, 이는 라틴어 vaporare에서 유래되었어요.
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