14世紀初， proces，“進行中”的事實（如 in process）來自古法語 proces “旅程； 連續，發展； 法律審判”（13世紀），直接源自拉丁語 processus “前進，進展，進步”，來自 procedere 的過去分詞詞幹“前進”（參見 proceed）。
“行動方式或方法，連續的行動或一系列行動或事件”的意思來自14世紀中期； “連續而規律的一系列行動旨在實現某種結果”的意思（主要現代意義）來自1620年代。特別是自然附屬物的“從主體的主體中突出的部分”的意思來自1570年代。法律上“訴訟中的行動方式，任何法律行動中的全部程序”的意義可追溯至14世紀初； 因此，作爲一種權利被認爲是“公正待遇”的 due process（15世紀中期）。
