大約在公元前1200年，「惡靈、惡性超自然存在、夢魘、魔鬼」的意思開始出現，這個詞源自拉丁語 daemon，意指「靈魂」。而這又來自於希臘語 daimōn，原本是「神祇、神聖力量；較低級的神；指引靈魂、守護神」，有時還包括死者的靈魂。它也可以指「一個人的天賦、命運或運氣」。這個詞的更早來源可以追溯到原始印歐語 *dai-mon-，意為「分配者、提供者」（通常是命運或運氣的分配者），而其根源則是 *da-，意指「分開、劃分」。
之所以有了「惡性」的含義，是因為在基督教希臘語的翻譯中，這個詞（常與 daimonion 一起使用）被用來指「異教徒的神、偶像」，以及「不潔的靈魂」。早期的猶太作家們也用希臘語來表達這個意思，特別是在《七十士譯本》中，他們用它來翻譯 shedim（意為「領主、偶像」）。在《馬太福音》第八章第31節中，出現了 daimones，在古英語中被翻譯為 deofol（魔鬼），而在中世紀英語中則是 feend 或 deuil。古英語中還有一個詞 hellcniht，字面意思是「地獄騎士」。
在古希臘語中，這個詞通常指的是「低於神的超自然使者或智慧，侍奉神靈的靈體」，這一含義在英語中出現於1560年代。有時為了區分，這個詞會寫作 daemon 或 daimon。到了1610年代，「破壞性或醜陋的人」的含義開始流行；而作為「具象化的惡性力量」（如酒精等）則出現於1712年。
「Socrates的惡靈」（大約在14世紀晚期的英語中）指的是 daimonion，即「神聖的原則或內心的神諭」。然而，他的指控者以及後來的教父們卻對此有不同的解釋。「惡靈之星」（1895年）指的就是 Algol（詳見該條目）。
