希臘語起源的詞形成元素,意爲1. “在……之後,在……之間”,2. “改變,變化”,3. “更高,超越”; 來自希臘語 meta(介詞)“在中間; 與……共同; 通過……手段; 在……之間; 追求或尋求; 在……之後,在……之後,在……之後”,在複合詞中最常表示地點、狀態等的“變化”。這來自於 PIE *me- “在中間”(源頭還包括德語 mit,哥特語 miþ,古英語 mið “與……一起,共同,其中”)。
“交換位置”的概念可能導致了“位置、順序或性質的變化”這一意義,這是希臘詞作爲前綴時的主要含義(但它也表示“共同、參與; 與……共同; 追求”)。
第三個現代意義,“高於、超越、支配、處理最基本的問題”,是由於誤解 metaphysics(見該詞)爲“超越物理的科學”而產生的。這導致了現代用法中的巨大錯誤擴展, meta- 附加在其他科學和學科的名稱上,特別是在文學批評的學術術語中: Metalanguage(1936年)“一種爲分析‘客體’語言提供術語的語言”; metalinguistics(1949年以前); metahistory(1957年), metacommunication 等。