在14世紀末，「不空洞或空心，已硬化」的意思開始出現；對於形體或物體來說，則指「具有三維空間」。這個詞源自古法語 solide，意為「堅固、密集、緊湊」，而古拉丁語 solidus 則意味著「堅固、完整、不可分割、整體」。在比喻意義上，它還可以表示「可靠、可信、真誠」。這些含義都來自於原始印歐語詞根 *sol-，意指「完整、整體」。
「堅固、硬朗、緊湊」的意思大約出現在1530年代。當用來形容論據等時，則表示「實質性」，這是與 frivolous（輕浮的）或 flimsy（脆弱的）相對的用法。1710年左右，「完全由相同材料構成」的意義開始流行。約1600年，這個詞用來形容「穩固、相當可觀的品質」。而在食物方面的用法則出現於約1700年。
作為強調詞，「徹底、完全」的用法在1830年左右出現。1920年，這個詞在爵士樂手中被用作俚語，意為「美妙、非凡」。
作為副詞，「堅實地、完全地」的用法出現於1650年代。Solid South（堅實的南方）這一術語在美國政治歷史中出現於1858年，指的是投票時的全體一致性；而在1855年，solid（在此指紐約）則已被用來表達類似的意思。Solid state（固態）作為物理學術語則記錄於1953年；其「使用印刷電路和固態晶體管（而非電線和真空管）」的意義則始於1959年。
