在14世紀末,「不空洞或空心,已硬化」的意思開始出現;對於形體或物體來說,則指「具有三維空間」。這個詞源自古法語 solide,意為「堅固、密集、緊湊」,而古拉丁語 solidus 則意味著「堅固、完整、不可分割、整體」。在比喻意義上,它還可以表示「可靠、可信、真誠」。這些含義都來自於原始印歐語詞根 *sol-,意指「完整、整體」。
「堅固、硬朗、緊湊」的意思大約出現在1530年代。當用來形容論據等時,則表示「實質性」,這是與 frivolous(輕浮的)或 flimsy(脆弱的)相對的用法。1710年左右,「完全由相同材料構成」的意義開始流行。約1600年,這個詞用來形容「穩固、相當可觀的品質」。而在食物方面的用法則出現於約1700年。
作為強調詞,「徹底、完全」的用法在1830年左右出現。1920年,這個詞在爵士樂手中被用作俚語,意為「美妙、非凡」。
作為副詞,「堅實地、完全地」的用法出現於1650年代。Solid South(堅實的南方)這一術語在美國政治歷史中出現於1858年,指的是投票時的全體一致性;而在1855年,solid(在此指紐約)則已被用來表達類似的意思。Solid state(固態)作為物理學術語則記錄於1953年;其「使用印刷電路和固態晶體管(而非電線和真空管)」的意義則始於1959年。