在1520年代,「最高的」,有時是字面意義,但特別指「在權力上最高的;擁有最高地位的」,來自15世紀的古法語suprême,直接源自拉丁語supremus,「最高的」,是superus的最高級,意指「位於上方」,來自super,「在上方」(源自原始印歐語根*uper,「在上」)。
「最極端,最大的可能」這一普遍意義出現於1590年代。「擁有權力的人」作為名詞的用法則出現在1550年代;而指代上帝(the Supreme)則始於1702年。
Supreme Being(上帝)這一表達自1690年代起被證實;Supreme Court(最高法院)則始於1689年。在法國歷史上,Festival of the Supreme Being(至上存在者節,1794年6月8日)是由羅伯斯庇爾創立的,旨在取代理性崇拜。