古英語の softe、以前の形 sefte は、「優しい、穏やかな性格の、楽な、快適な、静かな、動揺しない、贅沢な」といった意味を持ち、西ゲルマン語の *samfti に由来します。これは更に、原始ゲルマン語の *samftijaz、「平らな、均一な、滑らかな、優しい、柔らかい」という意味から来ており、古ザクセン語の safti、古高ドイツ語の semfti、現代ドイツ語の sanft なども同じ語源を持ちます。また、-ch- を -f- に変えた変形が、中世オランダ語の sachte、現代オランダ語の zacht、現代ドイツ語の sacht にも見られます。これらはすべて、印欧語根 *sem- (1)「一つ、共に、一緒に」（seem や same の語源）から派生しています。語源的には「滑らかで心地よい」という意味があり、触覚や感覚、精神に対して柔らかさを表す言葉として使われました。
1200年頃から人や心に対して「感情に優しい、情に厚い、涙もろい、同情心のある、従順な」といった意味が広まり、14世紀後半には「甘やかすような、肉体的に弱い、女性的な、打たれ弱い、男らしさに欠ける」というニュアンスも持つようになりました。また、1620年代には「愚かな、単純な、ばかげた」という意味も記録されています。
13世紀半ばから物質的なものに対して「硬くない、粗くない、細かい、圧力に対してすぐに屈する」という意味が使われ始め、音や声については13世紀初頭から「静かな、大きくない、厳しくない」という特徴を表すようになりました。言葉に関しては、14世紀半ばから「穏やかで控えめ、礼儀正しい」という意味で使われています。14世紀後半からは風や雨などの自然現象にも使われるようになりました。
1755年からは水に対して「ミネラル塩が比較的少ない」という意味で使われ、1789年からは石炭に対して「一般的に、無煙炭ではなく軟煤を指す」という意味が定着しました。飲み物に関しては、1879年までに「アルコールを含まない、ノンアルコール飲料」という意味で使われるようになりました。字母（-c-, -g- など）がよりシズル音で発音され、破裂音が少なくなる現象を表す言葉としては1630年代から見られます。
技術に関しては、1974年頃（おそらく1970年頃）から「天然資源を利用する、環境に配慮した」という意味で使われるようになりました。科学や方法、データについては、1960年頃から「実験的検証が不可能、数学的でない」という意味が定着しています。
多くのフレーズは、以前の hard（硬い）に対する対比として生まれました。たとえば、Soft landing（ソフトランディング）は1958年にアメリカの宇宙計画から始まり、soft rock（ソフトロック）という音楽スタイルは1969年に確認されています。Soft spot（ソフトスポット、「弱点や脆弱な部分」、文字通り・比喩的な意味）は1933年に口語表現として使われるようになりました。soft sell（ソフトセール、やわらかな説得を重視する売り込み）は1955年までに登場し、Soft-shoe（ソフトシューズ、ダンススタイル）は1927年に確認されています。写真用語の soft-focus（ソフトフォーカス、レンズや撮影に関するもの）は1917年から使われ、比喩的な使い方は1961年までに見られました。The softer sex（ソフターセックス、「女性全体を指す表現」は1640年代に登場しました。
