No final do século XV, a palavra ethnicus (anteriormente ethnical, início do século XV) era usada para descrever "pagão, herege". Ela vem do latim tardio ethnicus, que por sua vez se origina do grego ethnikos, significando "de ou para uma nação, nacional". Alguns autores, como Políbio, usavam o termo para se referir a algo "adaptado ao gênio ou costumes de um povo, peculiar a um povo". Entre os gramáticos, a palavra era entendida como "adequada aos costumes ou à língua dos estrangeiros". Essa raiz grega, ethnos, se referia a um "grupo de pessoas vivendo juntas, nação, povo, tribo, casta", e também podia ser aplicada a enxames ou rebanhos de animais, ou seja, "pessoas da mesma espécie". A origem remonta ao proto-indo-europeu *swedh-no-, uma forma sufixada da raiz *s(w)e-, que era usada para formar pronomes de terceira pessoa e reflexivos, além de palavras que descreviam grupos sociais (veja idiom). No inglês antigo, a palavra era usada como substantivo, significando "um pagão, herege, alguém que não é cristão ou judeu" (cerca de 1400). O uso moderno como substantivo, para designar "membro de um grupo étnico", surgiu em 1945.
Na Septuaginta, a expressão grega ta ethne traduzia o hebraico goyim, plural de goy, que significa "nação", especialmente referindo-se a não-israelitas. Assim, o termo passou a ser associado a "nação gentil, nação estrangeira que não adora o verdadeiro Deus" (veja goy). O adjetivo ethnikos era utilizado por escritores eclesiásticos para descrever algo que "tinha a natureza dos pagãos, alheio ao culto do verdadeiro Deus", e como substantivo, significava "o pagão, o gentil". O sentido clássico de "peculiar a uma raça ou nação" no inglês é atestado a partir de 1851, marcando um retorno ao significado original da palavra. A acepção de "diferentes grupos culturais" surgiu em 1935, e a de "grupo minoritário racial, cultural ou nacional" é do inglês americano de 1945. O termo ethnic cleansing foi documentado a partir de 1991.
Although the term 'ethnic cleansing' has come into English usage only recently, its verbal correlates in Czech, French, German, and Polish go back much further. [Jerry Z. Muller, "Us and Them: The Enduring Power of Ethnic Nationalism," Foreign Affairs, March/April 2008]
Embora o termo 'ethnic cleansing' tenha sido incorporado ao inglês apenas recentemente, seus correlatos verbais em tcheco, francês, alemão e polonês remontam a muito mais tempo. [Jerry Z. Muller, "Us and Them: The Enduring Power of Ethnic Nationalism," Foreign Affairs, março/abril de 2008]
