1944年，波蘭裔美國法學家拉斐爾·萊姆金（Raphael Lemkin，1900-1959）在他的著作《被佔領歐洲的軸心國統治》（Axis Rule in Occupied Europe）[第19頁]中，提到納粹對猶太人的滅絕，創造了“種族滅絕”一詞，字面意思是“殺死一個部落”，由希臘語 genos “種族，種類”（來自 PIE 詞根 *gene- “生育，產生”，具有指涉生殖和家庭和部落羣體的派生詞）和 -cide “殺戮”組成。正確的構詞應該是 *genticide。
Generally speaking, genocide does not necessarily mean the immediate destruction of a nation, except when accomplished by mass killings of all members of a nation. It is intended rather to signify a coordinated plan of different actions aimed at the destruction of essential foundations of the life of national groups, with the aim of annihilating the groups themselves. [Lemkin]
一般來說，種族滅絕並不一定意味着立即摧毀一個民族，除非通過殺害一個民族的所有成員來實現。它的目的是指不同行動的協調計劃，旨在摧毀民族羣體生活的基本基礎，以消滅這些羣體本身。[萊姆金]
早期類似的詞彙是 populicide（1799年），來自法語 populicide，1792年起源於法國大革命。這個詞彙被引入德語，例如 Völkermeuchelnden “種族滅絕”（海因），1893年被翻譯成英語爲 folk-murdering。Ethnocide 在1974年的英語中有記載（1970年的法語中有記載）。
