Ende des 15. Jahrhunderts (zuvor ethnical, frühes 15. Jahrhundert) „Heide, Ungläubige“, abgeleitet vom Spätlateinischen ethnicus, das wiederum aus dem Griechischen ethnikos stammt und „von oder für eine Nation, national“ bedeutet. Einige Autoren (wie Polybios und andere) verwendeten es auch im Sinne von „dem Wesen oder den Bräuchen eines Volkes angepasst, eigenartig für ein Volk“. Unter Grammatikern wurde es als „für die Sitten oder Sprache von Ausländern geeignet“ verstanden. Der Ursprung liegt im griechischen ethnos, was so viel wie „Gruppe von Menschen, die zusammenleben, Nation, Volk, Stamm, Kaste“ bedeutet. Es wurde auch für Schwärme oder Herden von Tieren verwendet und bezeichnete ursprünglich „Menschen gleicher Art“. Der Begriff stammt aus der indogermanischen Wurzel *swedh-no-, einer suffigierten Form von *s(w)e-, die im Dritten Person Singular und Reflexiv verwendet wurde und auch Wörter bildete, die sich auf soziale Gruppen beziehen (siehe idiom). Im frühen Englisch fand sich das Wort zunächst als Substantiv und bezeichnete „einen Heiden, Ungläubigen, jemanden, der kein Christ oder Jude ist“ (um 1400). In der modernen Verwendung als Substantiv steht es für „Mitglied einer ethnischen Gruppe“ und wurde ab 1945 belegt.
In der Septuaginta übersetzt das griechische ta ethne das hebräische goyim, den Plural von goy, was „Nation“ bedeutet, insbesondere für Nicht-Israeliten. Daher wurde es oft als „heidnische Nation, ausländische Nation, die den wahren Gott nicht verehrt“ verstanden (siehe goy). Das Wort ethnikos wurde von kirchlichen Schriftstellern auch im Sinne von „den Charakter der Heiden annehmend, fremd zum Gottesdienst des wahren Gottes“ verwendet und als Substantiv für „den Heiden, den Ungläubigen“ gebraucht. Der klassische englische Sinn von „eigenartig für eine Rasse oder Nation“ ist seit 1851 belegt und stellt eine Rückkehr zu der ursprünglichen Bedeutung des Wortes dar. Die Bedeutung von „verschiedene Kulturgruppen“ tauchte 1935 auf, während die von „rassische, kulturelle oder nationale Minderheitengruppe“ im amerikanischen Englisch ab 1945 belegt ist. Der Ausdruck ethnic cleansing wurde erstmals 1991 nachgewiesen.
Although the term 'ethnic cleansing' has come into English usage only recently, its verbal correlates in Czech, French, German, and Polish go back much further. [Jerry Z. Muller, "Us and Them: The Enduring Power of Ethnic Nationalism," Foreign Affairs, March/April 2008]
Obwohl der Begriff „ethnic cleansing“ erst kürzlich in die englische Sprache eingeführt wurde, reichen seine verbalen Entsprechungen im Tschechischen, Französischen, Deutschen und Polnischen viel weiter zurück. [Jerry Z. Muller, „Us and Them: The Enduring Power of Ethnic Nationalism“, Foreign Affairs, März/April 2008]