古英語の self、sylf（ウェストサクソン語）、seolf（アングリア語）は、「自分自身、-self、自分の、個人的な、同じ、同一の」といった意味を持ちます。これは原始ゲルマン語の *selbaz（古ノルド語の sjalfr、古フリジア語の self、オランダ語の zelf、古高ドイツ語の selb、現代ドイツ語の selb、selbst、ゴート語の silba などの語源でもあります）から来ており、さらに遡ると印欧語族の *sel-bho-、すなわち *s(w)e-（第三人称や再帰代名詞として使われ、主語に戻る形で使われる）から派生した形です。この形は、話者の社会集団を示す「私たち自身」（idiom）のような表現にも使われました。
この単語が再帰代名詞の後半部分として使われるようになったのは古英語の時代で、もともとは独立した形で（そして変化形として）人称代名詞の後に続く形で使われていました。例えば、ic selfa（「私自身」）、min selfes（「私自身の」）のようにです。やがて、対格、与格、属格が統合されていきました。
名詞としての使用は約1200年頃から始まり、「以前に指定された人や物」を指すようになりました。14世紀初頭には「その同じ人に対する関係性を持つ人」という意味でも使われるようになりました。G.M.ホプキンスは1880年に selve を動詞として「独自の自分になる、あるいは独自の自分を作り出す」という意味で使いましたが、この用法は詩人たちに限られていたようです。
