中英語の slou は、古英語の slaw に由来し、「自然に非活動的で、怠惰、鈍感、行動が遅い」といった意味を持っていました。また、「賢くない、鈍い、理解が遅い」といった意味もありました。これは原始ゲルマン語の *slæwaz に由来し、古サクソン語の sleu(「鈍い、鈍感」)、中オランダ語の slee、現代オランダ語の sleeuw(「酸っぱい、すっぱい、鈍い」)、古高ドイツ語の sleo(「鈍い、鈍感」)、古ノルド語の sljor、デンマーク語の sløv、スウェーデン語の slö(いずれも「鈍い、鈍感」)と同系の言葉です。
「発展に時間がかかる、短期間で起こらない」といった意味は1200年頃から確認されており、「物理的に動きが遅く、短い距離を移動するのに時間がかかる」といった意味は14世紀中頃から使われています。「鈍い、退屈な」という意味は1841年から見られます。時計に関して「動きが遅い」という意味で使われるようになったのは1690年代からです。
副詞として使われるようになったのは1500年頃です。名詞としては122年頃から「怠け者、鈍くさな人々」を指すようになりました。The slows(「虚構の病気で、無気力を説明するためのもの」)という表現は1843年から使われています。Slow-paced(「ゆっくりと進む、動く」)という表現は1590年代から見られます。映画撮影におけるスローモーション(Slow-motion)という形容詞は1929年から使われるようになりました。